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| 型号 | Excel 1051 UM/UC | Excel 1052 UM/UC | Excel 1054 UM/UC |
| 量测行程 | 1050 x 1050 x 160mm | 1050 x 1050 x 250mm | 1050 x 1050 x 400mm |
| 外形尺寸 | 1720 x 2000 x 1650mm | 1720 x 2000 x 1850mm | 1720 x 2000 x 2000mm |
| 重量 | 2700kg | 2750kg | 2850kg |
| 光学尺分辨率 | 0.1μm | ||
| XY 精度,E2 | 3.3 + L/300 | 3.6 + L/300 | 4.3 + L/200 |
| Z 精度,E1 | 2.8 + L/100 | 3.3 + L/100 | 3.8 + L/100 |
| 镜头倍率光学,数字） | 36x （12x,3x） | ||
| 表面光, 轮廓光,同轴光光源 | 红光LED （黑白系统） 白光 LED（彩色系统） | ||
| 放大倍率 | 15x - 540x to 30x - 1080x | ||
| 电源系统 | 93-264 VAC,47-63 Hz | ||
| 工作温度 | 20℃±2° | ||
| 存放温度 | -25℃ ~ 60℃ | ||
| 工作湿度 | 30%-80% | ||
