典型的系统配置包括：

• 放大倍数为5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物镜
• 1/3英寸CCD相机; 0.5倍耦合镜
• 自动Z轴，30毫米驱动范围
• 手动XY载物台，100毫米x 100毫米驱动范围
• 具有3GB内存和320GB硬盘的电脑，24英寸显示器，以及泽塔三维功能软件

三维表面浏览 :
倾斜，旋转，缩放，滤波
体积计算

二维表面分析 :
特征尺寸，直径，面积
图案间距，标准偏差
表面粗糙度
区域平均台阶高度

轮廓测量
台阶高度
粗糙度参数
多横截面分析
平均值测量标尺
点对点测量标记
倾斜度和表面波度补偿

应用：三维成像

宏观原子力显微镜 样品形貌和粗糙度超出原子力显微镜测量范围？ 没关系。上图展示了用我们的仪器所产生的喷墨打印机零件的三维图像。图上显示的尺寸已超出了原子力显微镜的测量能力范围。	微观三坐标测量仪 样品形貌在三坐标测量仪上无法分辨？ 没问题。上图展示了用我们的仪器所产生的精加工微波零件的三维图像。图上显示的微波通道侧墙的倾角等是传统的三坐标测量仪所测不了的。	获取数据的时间 没有足够的时间来赶测众多参数？ 不要紧。在不到一分钟之内作个常规扫描，泽塔仪器可以对大视场区域进行成像，并向您提供形貌、尺寸和薄膜等相关信息。	获取数据的费用 为获取数据的花费和回报率担忧？ 不用担心。我们的仪器不仅初始投资成本低，而且维护成本更低。难怪连那些对成本敏感的应用，例如监测太阳能电池蚀刻工艺过程等，都选择使用我们的仪器。

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