四探针电阻率测试仪主要技术参数：
1、 配有双数字表：一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时，另一块数字表适时监测全过程中的电流变化，使操作更简便，测量更精确。
数字电压表量程：0—199.9mV  灵敏度：100μV  输入阻抗：1000ΜΩ
                   基本误差±（0.4-0.5%读数+0.1%满度）
2、 可测电阻率范围：103 —10-3Ω•cm。
可测方块电阻范围：104 —10-2Ω/□。
3、 设有电压表自动复零功能，当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时，电压表指零，只有1、4探针接触到硅片，测量电流渡过单晶时，电压表才指示2、3探针间的电压（即电阻率）值，避免空间杂散电波对测量的干扰。
4、 流经硅片的测量电流由高度稳定（万分之五精度）的特制恒流源提供，不受气候条件的影响，整机测量精度＜3%。
电流量程分四档：100μA、1mA、10mA、100mA。
5、 仪器采用触点电阻更低（＜5mΩ）、使用寿命更长的转换开头及继电器（＞10万次），在绝缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数，提高了测试仪的可靠性和使用寿命。
6、 四探针头采用上的红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性提高