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设 备 型 号NT-CVD（G）-08/50/1
温区温度 1650℃；（*长恒温时间：≥10小时）；
加热有效容积Φ72（内经）×500mm;恒温区尺寸：Φ72（内经）×250mm
炉管实际尺寸Φ80（外径）×1400mm （国产优质刚玉管）
炉 膛 材 料 氧化铝纤维制品
控制温区点数1个，1支B分度热偶
设备温场温差±1℃ ，
加 热 元 件优质进口微波源
加热功率 4Kw
保 温 功 率1kw
升温速率10℃∽120℃/min;
降温速率3℃∽7℃/min
温度均匀性±3℃（有效范围：Φ72×250mm）
气路配件材料 气路配件材料，端头不锈钢发兰密封，一路气体采用浮子流量计控制,所有管道和阀门采用不锈钢元件
极 限 真 空 ≤10Pa（常温） ,一级机械泵（配电磁阀）。
压升率≤5Pa/h
