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脉冲激光沉积系统 (PLD)

点击次数:271发布时间:2016/9/28 11:09:00

脉冲激光沉积系统 (PLD)

更新日期:2016/11/25 9:33:55

所 在 地:中国大陆

产品型号:

简单介绍:脉冲激光沉积 (Pulsed laser deposition),就是将激光聚焦于靶材上一个较小的面积,利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离,使其能够脱离靶材而向基底运动,进而在基底上沉积,从而形成薄膜的一种方式。

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详细内容

 脉冲激光沉积 (Pulsed laser deposition),就是将激光聚焦于靶材上一个较小的面积,利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离,使其能够脱离靶材而向基底运动,进而在基底上沉积,从而形成薄膜的一种方式。 在众多的薄膜制备方法中,脉冲激光沉积技术的应用较为广泛,可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各种物质薄膜,甚至还用来制备一些难以合成的材料膜,如金刚石、立方氮化物膜等。

 

脉冲激光沉积系统 (PLD)

脉冲激光沉积系统 (PLD)

 

TSST脉冲激光沉积系统配置:

 

  • 生长室,进样室可选
  • 两种靶材台可选
  • 三种加热器可选,加热温度1200℃
  • 高压RHEED,工作气压可达100Pa
  • 可预留法兰,用于LEED,K-Cell等
  • 可选项:臭氧发生器,离子源,掩膜系统等

 

TSST脉冲激光沉积系统特点及优势:

 

  • 产品基于荷兰Twente大学Prof. Blank和Dr. Rijnders研究组的原始设计,在提供产品的同时,更能提供专业的技术支持;
  • 始终考虑到客户的需求,为其定制产品,具有很大的灵活性;
  • 靶材台同时可以安装5个靶,并且5个靶可以同时更换,节省换靶时间;
  • TSST公司是高压RHEED的发明人,其在RHEED结果的分析上造诣很深,可以为用户提供结果分析建议;
  • 用户可以通过TSST公司与荷兰Twente大学进行学术交流,包括访问甚至交换学生等。


更多脉冲激光沉积系统信息,请查看:http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=392

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企业档案

  • 会员类型:免费会员
  • 工商认证: 【未认证】
  • 最后认证时间:
  • 法人:
  • 注册号:****
  • 企业类型:代理商
  • 注册资金:人民币***万

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