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脉冲激光沉积系统 (PLD)
TSST脉冲激光沉积系统配置:
- 生长室,进样室可选
- 两种靶材台可选
- 三种加热器可选,加热温度1200℃
- 高压RHEED,工作气压可达100Pa
- 可预留法兰,用于LEED,K-Cell等
- 可选项:臭氧发生器,离子源,掩膜系统等
TSST脉冲激光沉积系统特点及优势:
- 产品基于荷兰Twente大学Prof. Blank和Dr. Rijnders研究组的原始设计,在提供产品的同时,更能提供专业的技术支持;
- 始终考虑到客户的需求,为其定制产品,具有很大的灵活性;
- 靶材台同时可以安装5个靶,并且5个靶可以同时更换,节省换靶时间;
- TSST公司是高压RHEED的发明人,其在RHEED结果的分析上造诣很深,可以为用户提供结果分析建议;
- 用户可以通过TSST公司与荷兰Twente大学进行学术交流,包括访问甚至交换学生等。
更多脉冲激光沉积系统信息,请查看:http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=392