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真空等离子清洗机
点击次数：457发布时间：2012/5/25 16:17:57
更新日期：2016/6/17 17:26:49
所 在 地：中国大陆
产品型号：GDR-20PR
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优质供应
详细内容
◆ 外形尺寸
570（W）×420（D）×740（H）mm
◆ 仓体结构（不锈钢，约20升
420（W）×270（D）×170（H）mm
◆ 电极面积
250（W） ×190（D） mm,3层
◆ 清洗模式
RIE or DP模式自动转换
◆ 等离子发生器（韩国KM）
频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配
◆ 控制系统
触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件，
性能稳定,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统
德国莱宝（Leybold）真空泵 D30C （37m3/h）
进口气动角阀、充气阀，德国（Inficon）压力传感器
◆ 压力控制
PID闭环自动稳压控制
◆ 气路系统
2路工艺气体+1路氮气配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克（FITOK）气体管路
