◆ 外形尺寸（不包括报）

850（W）×1000（D）×1850（H）mm

 ◆ 仓体结构（约200升）

550（W）×700（D）×530（H）mm

 ◆ 电极面积  

550（W）×700（D）×530（H）mm，14层

 ◆ 等离子发生器（MF）

频率40KHZ,功率0-3KW连续调节,自动阻抗匹配

 ◆ 控制系统

 有逻辑电路半自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件，性能稳定,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统

 日本爱发科（ULVAC）机械真空泵 VDN901 （23L/S）

进口气动角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管，

 德国英福康Inficon高精度真空计、规管

 ◆ 处理气体

两路工艺气体配置（氩气、氧气）美国高精度浮子流量计、针阀，

美国世伟洛克Swagelok不锈钢抛光气体管