◆ 设备外形尺寸（不包括报）

650（W）×900（D）×1600（H）mm

 ◆ 合金铝真空仓体（约100升）

 450（W）×450（D）×450（H）mm

◆ 电极结构

 外置电感耦合电极

◆ 等离子发生器（美国MKS）

 频率13.56MHZ,功率0-1000W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

◆ 控制系统

PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件，性能稳定,并具有手动、自动两种模式

◆ 真空系统（真空压力PID闭环自动控制）

 日本爱发科（ULVAC）机械真空泵 VDN901 （23L/S）

   台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器         

  ◆ 充气系统

美国MKS高精度电子质量流量计（四路气体配制）

美国世伟洛克SWAGELOK气体管路及接口组件，德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件