◆ 外形尺寸（不包括报）  

1350（W）×800（D）×1750（H）mm 

 ◆ 仓体结构（铝，约125升）

500（W）×500（D）×500（H）mm

 ◆ 旋转平台

Φ 400mm ，转速可调节

 ◆ 等离子发生器（美国）

频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

◆ 控制系统

触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件，性能稳定,并具有手动、自动两种模式 

 ◆ 真空系统（真空压力PID闭环自动控制）

前级泵/ 英国爱德华爪式干泵 GV80

二级泵/ 英国爱德华罗茨泵  EH250（70L/S）  

美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器     

台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 

 ◆ 充气系统

美国MKS高精度电子质量流量计（四路气体配制）

美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件