◆ 外形尺寸（不包括报）

1903（W）×980（D）×2075（H）mm

 ◆ 仓体结构（铝，约800升）

600（W）×840（D）×800（H）mm

 ◆ 处理材料

材料直径：400mm ，材料宽度：100mm

◆ 等离子发生器（美国MKS）

频率13.56MHZ,功率0-2500W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件，性能稳定,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统（真空压力PID闭环自动控制）

日本爱发科（ULVAC）机械真空泵 VDN901 （23L/S） x2台（前级泵可选配爱德华干泵）

英国爱德华罗茨泵  EH1000（280L/S）        

台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器

◆ 充气系统

美国MKS高精度电子质量流量计（两路气体配制）、针阀

美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件