◆ 外形尺寸（不包括报）

1000（W）×800（D）×1750（H）mm

◆ 仓体结构（石英，约20升）

Φ 245mm ×400Lmm  

◆ 等离子发生器（德国）

频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件，性能稳定,并具有手动、自动两种模式 

 ◆ 真空系统（真空压力PID闭环自动控制）

英国爱德华斡旋式干泵 GV40

台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 

 ◆ 充气系统

美国MKS高精度电子质量流量计（2路气体配制）

美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件

美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器