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材料表面的生命期

点击次数:398 发布时间:2014/3/22 16:47:33

 材料表面的生命期

乾淨的材料表面在1E-6 Torr真空中、1秒鐘會吸附一層氣體分子,為實驗方便計算氣體吸附量,稱此量為1 L1 Langmuir)。依此可知在1E-10 Torr真空下,材料表面在1E4秒鐘(約2小時50分鐘)後,會吸附一層氣體分子。通常在抽真空時,會先用若氮氣purging,若其純度為99.9%,在1E-10 Torr真空下的氧和氮比可簡單估計為1:1000,若定義0.1%的氧覆蓋(coverage)為汙染,假設氧和氮對基材的吸附能力相同,則在1E-10 Torr真空下,乾淨的材料表面的生命期約只有2小時50分鐘。因所有的分析都需在生命期內完成,材料表面的生命期越長越好。舉例來說,當真空度只有1E-9 Torr時,其生命期約17分鐘,一般取數據的時間都比這久,1E-9 Torr的真空度是不合乎實驗需求的。

原创作者:北京中科晖玉科技有限公司

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