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性能特点：
Ü 可观察清晰无闪烁正像，且视场开阔
Ü 测量精度在同类设备中
Ü 浮动功能:带有快速释放功能的X和Y轴
Ü 使用ML系列，专门为MF系列设计的高-NA物镜（长工作距离型）
Ü MF-A/MF-UA系列具有可扩展性,如与Vision Unit一起使用可提高其性能,或者可在PC中进行数据管理,从而确保提高效率.（备注：性能参数见下页）
性能参数
| 型号 | 测量显测量显微镜 微镜 | 2010C | 2017C | 3017C |
| 货号MF-A | 176-662* | 176-663* | 176-664* | 176-665* |
| 货号MF-B | 176-682* | 176-683* | 176-684* |
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| XY工作台行程范围 | 100*100mm | 200*100mm | 200*170mm | 300*170mm |
| Z轴移动范围 | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm |
| 调焦方式 | 手动调焦（粗调焦：30mm/rev.,微调焦：0.2mm/rev.） | |||
| 测量方法 | 线性编码器（2轴型：X/Y轴，3轴型：X/Y/Z轴） | |||
| 分辩率（可转换） | 0.001mm/0.0005mm/0.0001mm | |||
| 测量精度（20℃时） | XY轴：（2.5+0.02L）um ，L为无负载测量长度（mm），JISB7153 | |||
| 指示精度（20℃时） | Z轴：（5+0.04L）um,L为测量长度（mm） | |||
| XY工作台台面尺寸 | 280*280mm | 350*280mm | 410*342mm | 510*342mm |
| 载物玻璃有效尺寸 | 180*180mm | 250*150mm | 270*240mm | 370*240mm |
| 旋转功能 | — | — | ±5°（左） | ±5°（左） |
| 台面承重 | 10kg | 20kg | 20kg | 20kg |
| 工件高度 | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm |
176-685*
