産品型號

VMS-1510G/F

VMS-2010G/F

VMS-2515G/F

VMS-3020G/F

VMS-4030G/F

金屬台尺寸

354＊228mm

404＊228mm

450＊280mm

500＊330mm

606＊466mm

玻璃台尺寸

210＊160mm

260＊160mm

306＊196mm

350＊280mm

450＊350mm

Y＊X行程

150＊100mm

200＊100mm

250＊150mm

300＊200mm

400＊300mm

Z軸行程

150mm

測量精度

（3+L/75）μm

放大倍率

40X-255X（台制物鏡/美國NAVITAR物鏡）

影像系統

台制1/3″彩色CCD/日産1/2″彩色CCD

解 析 力

0.001mm

照    明

LED光源，亮度可調

儀器電源

220V（AC），50Hz  30W

儀器重量

100Kg

110Kg

120Kg

140Kg

240Kg

外觀尺寸

756＊540＊860mm

670＊660＊950mm

720＊950＊1020mm