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北京意力博通技术发展有限公司

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ETD-2000ETD-2000小型离子溅射仪

ETD-2000小型离子溅射仪

点击次数:329  发布时间:2020/3/10 13:29:27

  • 型 号: ETD-2000
  • 价 格:面议
  • 所在地点:
  • 产品完善度:

简单介绍: 采用真空自动控制和真空保护电路,使操作和应用更加安全可靠。为扩大应用领域,可同时手动调整溅射仪的电离电流或手动调整其真空微调针阀,改变电离室的压强,获得*佳的喷镀效果。独特的真空橡胶压边密封结构,保证长期使用不会使钟罩边缘出现毛边而影响真空室中的真空度,陶瓷密封高压插头经久耐用。
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| 产品简介

ETD-2000 型离子溅射仪外观沉稳大气

采用真空自动控制和真空保护电路,使操作和应用更加安全可靠。为扩大应用领域,可同时手动调整溅射仪的电离电流或手动调整其真空微调针阀,改变电离室的压强,获得*佳的喷镀效果。独特的真空橡胶压边密封结构,保证长期使用不会使钟罩边缘出现毛边而影响真空室中的真空度,陶瓷密封高压插头经久耐用。

       工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体,获得*佳镀膜效果。

      配有高位定性的飞跃真空泵


The ETD-2000 type ion sputtering instrument has a stable atmosphere. It adopts vacuum automatic control and vacuum protection circuit to make operation and application safe and reliable. In order to expand the application field, the ionization current of the sputtering instrument can be adjusted manually or the vacuum micro adjusting needle valve can be adjusted manually, the pressure of the ionization chamber is changed, and the best effect of spray plating can be obtained. The unique vacuum rubber edge sealing structure ensures long term use will not cause the edge of the bell to affect the vacuum in the vacuum chamber, and the ceramic sealing high pressure plug is durable.It is easy to control the vacuum chamber pressure, ionization current and choose the required ionization gas when working in conjunction with the internal automatic control circuit, so as to achieve the best coating effect.Vacuum pump equipped with high quality  



 

溅射气体
溅射靶材溅射电流溅射速率样品仓尺寸样品台尺寸工作电压
根据实验目的可添加氩气,氮气等多种气体。标配靶材为金靶,厚度为50mm*0.1mm。也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

电流

50mA,工作电流30mA

优于40nm/min

直径160mm,高120mm

样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台,也可根据自身要求定制样品台

220V

(可做110V),

50HZ

                                                                                      

需要镀膜的样品

   

电子束敏感的样品非导电的样品新材料
主要包括生物样品,塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;由于样品不导电,其表面带有“电子陷阱”,这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应,可在样品表面镀一层金属导电层,镀层作为一个导电通道,将充电电子从材料表面转移走,消除荷电效应。在扫描电镜成像时,溅射材料增加信噪比,从而获得更好的成像质量。非导电材料实验电极制作观察导电特性



更新时间:2020/3/10 13:29:27

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