华测 简易探针台
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详细内容
华测 简易探针台
Huace-4
一、产品介绍
探针台是一种辅助执行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
华测系列探针台可满足I-V/C-V,PIV测试,光电测试等,外形轻盈,cao作方便,价格实惠;
二、优势特点
1、满足I-V/C-V,PIV测试,光电测试等.
2、zui大可用于6英寸以内样品测试
3、同轴丝杠传动结构,线性移动
4、可放置于手套箱内使用
5、形状轻巧,cao作方便,价格实惠
三、台体规格参数
1、尺寸:4英寸/6英寸;
2、水平旋转:可360°旋转,可微调15°,精度0.1°,带角度锁死装置;
3、X-Y移动行程:2英寸×3英寸;
4、X-Y移动精度:10μm;
5、样品台Z轴调节:可升降10mm;
6、样品固定:真空吸附,zhong心吸附孔,多圈吸附环;
7、针座平台:左右各一个针座平台,**可放置6个探针座;
8、背电测试:样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电;
9、外形尺寸:400mm长*380mm宽*500mm高;
10、设备重量:约20KG;
四、光学系统规格
1、显微镜类型:单筒显微镜/体式显微镜;
2、放大倍率:16X-200X;
3、移动行程:水平方向绕立柱360°旋转,Z轴50.8毫米;
4、光源:外置LED无调节亮度环形光源;
5、CCD:200万像素/500万像素/1200万像素;
五、定位器规格
1、X-Y-Z移动行程:12mm*12mm*12mm;
2、移动精度:10μm/2μm/0.7μm/0.5μm;
3、吸附方式:磁力吸附,真空吸附;
4、线缆:同轴线/三轴线;
5、漏电精度:10pA/100fA/10fA;
6、固定探针:弹簧固定/管状固定;
7、接头类型:BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子;
8、针尖直径:0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm;
9、针尖材质:钨钢;铍铜;