华测  综合性分析探针台测试系统

Huace-8

一、产品介绍

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华测综合性分析探针台测试系统可用于晶圆和PCB板测试，大可用于12英寸以内样品测试、操作便捷，功能其全，高效精准、可满足晶片测试、光电器件测试、PCB/IC测试、射频测试、高压大电流测试等；该定制探针台具有优良的机械系统，稳定的结构，符合人体工程学，以及多项升功能。可广泛应用于集成电路、Wafer，LED、LCD、太阳能电池等行业的制造和研究域。

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

二、特点及应用

1、zui大可用于12英寸以内样品测试

2、同轴丝杠传动结构，线性移动

3、大手柄驱动，cao作舒适，无回程差设计

4、针座平台快速、微调升降功能

5、可搭配多种类型显微镜

6、晶片测试、光电器件测试、PCB/IC测试、射频测试、高压大电流测试等

7、结构模块化设计，可无缝升

8、cao作便捷，功能其全，高效精准 ；

9、探针台可根据客户要求定制。

三、台体规格参数

1、chuck尺寸： 8英寸/12英寸；

2、水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置；

3、X-Y移动行程：8英寸×8英寸/12英寸×12英寸

4、X-Y移动精度：10微米/1微米；
5、样品固定：真空吸附固定，中心吸附孔，多圈吸附环；

6、针座平台：U型针座平台，多可放置10个探针座

7、平台升降：可快速升降6mm/可微调升降25mm

8、背电测试: 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电

9、外形尺寸: 840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高

10、重量:约100千克/150千克

五、光学系统

1、CCD：200W/500W/1200W像素可选

2、显微镜类型：单筒/体视/金相显微镜可选

3、放大倍率：16X-200X/20X-4000X

4、移动行程：X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转，Z轴行程50.8mm

5、光源:外置LED环形光源/同轴光源

七、定位器规格

1、X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm；
2、移动精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
3、吸附方式：磁力吸附/真空吸附；
4、线缆：同轴线/三轴线可选；

5、漏电精度：10pA/100fA/10fA；

6、探针固定：弹簧固定/管状固定；
7、接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子等；
8、针尖直径：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
9、针尖材质：钨钢/铍铜；

九、探针可选附件

加热台、显示器、光学平台、光电测试配件、显微镜快速倾仰装置、激光系统、屏蔽箱、镀金卡盘、高压测试配件、射频测试配件、转接头、探针卡夹具