CDEResMap四探针电阻率/方块电阻测试仪

一、四探针电阻率产品简介

四探针电阻率又名方块电阻测试仪，主要用于测量电阻率及方块电阻（只测量非金属薄膜，避免设备污染）。提供自动计算机量测的四点探针阻值量测机台。快速，jing确与软件控制下针、软件功能可化下针压力，即使薄片量测也不易破裂。自动清针(Probe Conditioning);动作，双针头切换能使用可支持自动Loader，300mm 机台可使用Front End，zui多扩充3个量测单元，支持Semi标准接口。

二、四探针电阻率技术参数

薄膜电阻测量范围: 10-5Ω.cm~105Ω.cm

方块电阻测量范围:10-3Ω/□至106Ω/□

晶片直径: 50至200mm,可测量不规则硅片

具有2D、3D Mapping的数据分析功能。

具有测试数据自动导出功能。

三、四探针电阻率适用范围

非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；

选择性发射扩散片；

表面钝化片；

交叉指样PN结扩散片；

新型电设计，如电镀铜电阻测量等

公司主要研发、制造和销售的检测仪器有：电压击穿试验仪、高压漏电起痕试验仪、耐电弧试验仪、铁电材料测试仪器、介电常数及介质损耗测试仪、表面及体积电阻率测试仪、压电材料测试仪器、热电材料测试仪器、绝缘材料电性能检测设备、高温管式炉\反射炉\气氛炉、高温电性能测试设备、静电检测仪器、硅橡胶\绝缘子行业测试设备、PCB\三防漆电子材料测试、电气薄膜电学检测仪器、高低压电气材料测试设备、电线电缆行业电学测试设备、高分子材料电学测试仪器、热分析仪器、电气安规检测仪器、半导体芯片类测试仪器等，可接定制仪器订单。