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YX-3型晶体籽晶定向仪(适用晶棒、籽晶)
YX-3晶体籽晶定向仪:主要用于硅材料晶棒加工籽晶前的定向,籽晶定向。
标准配置如下:
1、一侧配籽晶专用夹具(直径260),对晶棒端面进行定向,(111,100)蓝宝石A、C、等,测量尺寸Φ6~8英寸,长150mm晶棒;测试好后,拿下夹具,然后在内圆切割机或籽晶钻床等机床上加工籽晶条。
2、另一侧对上述切割好的籽晶条端面进行定向;测量籽晶尺寸:圆籽晶Φ5~20mm,方籽晶Φ5~20mm,长 150mm。
主要参数:
主要参数:
项 目 | 参 数 |
晶棒直径 | 圆棒6~8英寸 |
晶棒长度 | 150mm 180mm |
籽晶直径 | Φ5~20 |
籽晶长度 | 150mm 180mm |
夹具直径 | 260 mm |
测试晶面 | 111、100 |
定向精度 | ±30″ |
数显方式 | θ:度;分;秒;*小读数10″ |
技术指标 | 符合YX-2参数 |