可选版本 ⇨

正常版本

.NM     绝对⽆磁版本；

.HV，     ⾼真空版本 ;

.UHV ，超⾼真空版本；

1           底⾯尺⼨*⾼度

180 mm × 150 mm × 20 mm

2           主体材料

铝合⾦

3            中空透孔

80 mm × 60 mm

4           运动⾏程

200 um × 200 um

5            闭环分辨率

优于1nm

6           推荐*⼤负载

500 g

7            闭环传感器

电容式

8            电容精度

0.3 nm

9           压电电容(X, Y)

6.5 uF

15 到 40 摄⽒度

10          推荐使⽤温度

11          质量

1 kg

12          安装

螺纹孔⾃动兼容 Carrier.L7550.XY