飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS)是一种非常灵敏的表面分析技术。
可以广泛应用于物理，化学，微电子，生物，制药，空间分析等工业和研究方面。
TOF-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三维样品的元素，分子等结构信息。

德国ION-TOF公司是具有当前水平专门开发和生产飞行时间二次离子
质谱仪器的厂家。公司从1989年创建以来，通过不断的完善和创新，现在已经
发展到第五代仪器--TOF.SIMS 5。

ION-TOF飞行时间二次离子质谱仪主要特点

1. 样品尺寸可以达到100毫米，200毫米，和300毫米。
2. 五维样品操作台
3. 多种可选择离子源：镓, 铟, 金, 铋, 氧，铯，氩，氙，SF5, C60...
4. 对分析室样品可加热和冷却控制。
5. 进样室可加热/冷却精确控温。能测量易挥发样品甚至液体。
6. 低温样品传输。
7. 可实现铯和氙的混合溅射。
8. 可实现单点成分分析，表面成分成像，深度剖析，三维分析等多种模式。
9. 采用样品电荷补偿，可以测量绝缘样品。

ION-TOF飞行时间二次离子质谱仪技术参数

1. 并行探测所有离子，包括有机和无机分子碎片。
2. 无限的质量探测范围（实际测量中大于10000原子量单位）。
3. 完全透过率下实现高的质量分辨率。
4. 极高的横向和纵向空间分辨率（横向小于100纳米，纵向小于1纳米）。
5. 探测灵敏度可达ppm或ppb量级。