Multiprobe MBE系列产品满足现代纳米技术研究对于结合高质量MBE与可靠的多功能表面分析的*苛刻的要求。

Omicron超高真空分子束外延生长及分析系统（MBE）表面分析主要特点：
-STM与AFM可实现原子分辨的结构分析
-谱学研究
-原位同时进行SPM，SEM，SAM测量
-原子尺度的样品控制
-针对*佳化学分析的XPS或单色XPS
-针对小于10nm结构化学分析的SAM
-结合Omicron Gemini电镜在超高真空中实现3nm分辨SEM测量

Omicron超高真空分子束外延生长及分析系统（MBE）主要特点
-高质量的材料生长
-设计兼容从小样品直到4英寸基片
-可选RHEED，RGA以及束流监测
-提供原位检测技术，如测温仪，椭偏仪和反射光谱
-对于高纯度高熔点材料可选用电子束蒸发源
-适于II/VI族与III/V族组分的半导体材料
-可提供蒸发源，裂解源等
-生长过程的软件/硬件控制系统