SET3/1064/532/355，SFT3：激光微调机/激光修阻机/激光调阻机/激光刻阻机　

激光调阻机的成功研制对推动我国微电子行业的产业升级起到重要作用。激光调阻机是利用激光技术对厚、薄膜电路进行修调，以得到高精度的电阻值或的输出信号。公司生产的激光调阻机全部拥有自主知识产权，采用高质量的激光源和精密的测量系统，空气悬浮平面运动机构，各项性能指标达到水平，是取代进口产品之.

SET507系列技术参数:

1.激光器系统
激光波长：532nm/355nm
激光平均功率：7W
典型光斑尺寸： 15μm±3μm
实际切口取决于材料、光学器件和波长
冷却方式：风冷
对焦方式：计算机程序控制
2．激光束定位系统
激光束运动范围：50mm X 50mm
重复定位精度：2μm
定位精度：±5μm
激光束*小步进：0.76μm
3．分步重复机械运动系统
运动方式：空气悬浮运动，无摩擦力
运动范围：290mm*260mm
陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根据要求定做）
运动分辨率：1μm
重复精度：2μm
定位精度：±15μm
运动速度：500mm/s
4．测量系统
激励方式：电流激励
恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择
电阻测量方式：四线制加电流测电压（可选择二线制）
直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
电阻测量精度：低阻：<0.05%+0.5%/R  （R<100Ω）    
              中阻：<0.05%
              高阻：<0.05%+0.5%R（R>0.1MΩ）
电阻测量范围： 0.1Ω-10MΩ
电阻测量速度：25μs
直流电压分辨率：0.16μV（在10mV满量程条件下）
探针板运动：计算机程序控制
5．计算机及软件系统
工业控制计算机（双核），19寸液晶
操作系统：Windows XP
软件可编程，界面友好，功能强大
软件系统可免费升级和进行功能扩展
6．图像监视系统
监视方式：激光同轴监视
监视视场：2-3mm（对角线）
显示屏：19寸液晶
7．其它技术指标
供电电压：220V AC
整机功耗：1200W

激光器的选择：
针对被修调电阻材料特性，选择合适波长的激光器，可提升切割效果，对于金属薄膜电阻，一般采用532um或355nm短波长激光可达到理想效果，有些金属薄膜电阻也可以采用

应用和市场：

主要应用于厚、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路，电子元器件，汽车电器，传感器，军工科研，片式电阻行业等。