直流溅射电源控制器主要技术参数：

控制功率：4KVA。
辉光放电电流：≥50mA 时自动切断启辉电路。
输入控制信号：直流电压0-10V或外接10K给定
              电位器。
调节特性：恒流。
保护特性：
          系统打火瞬间电流只要超出使用电
          流1.5倍电源自动切断并自动复位。
          负载在5秒内连续打火超过4次或负
          载短路持续时间大于5秒电源自动关
          断，待故障排除后手动复位。
延时特性：开机起动或保护后的自复位启动时
          间不大于5秒。
外型尺寸：175×114×60mm
整机重量：1.5kg