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单晶硅基片加热系统
点击次数:391发布时间:2009/11/2 0:00:00
更新日期:2012/3/8 16:46:51
所 在 地:英国
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详细内容
它由单晶硅基片加热器和测温、控温装置组成。 其中测温有热电偶测温和红外测温两种方式;控温有电流控温和热电偶控温两种方式。控温采用欧陆818控温表, 精度高,工作稳定,既可手动亦可程序自动控温;
温度范围:室温―960ºC ;
温度起伏:±2
更新日期:2012/3/8 16:46:51
所 在 地:英国
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联系人:夏先生