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英国原装进口Talysurf CCI系列白光干涉仪表面轮廓仪

点击次数：2911发布时间：2013/4/27 10:13:22

更新日期：2016/5/23 14:27:55

所在地：欧洲

产品型号：CCI6000

简单介绍：Talysurf CCI 6000白光干涉仪随着科技潮流,非接触式的量测至今已被广泛的应用在生产及研发上，而Taylor Hobson经多年的研发于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉仪可堪称目前世界上精度功能*强的白光干涉仪，,其超高解析度的特性(0.1Å)，可以运用在量测晶圆，微机电及抛光元件等产品的粗糙度平面度及膜厚分析等，而非破坏性的特性更可以有效的量测软性物质，在迈入奈米纪元同时相信Talysurf CCI 6000绝对是各大企业不可少的量测系统。

相关标签：表面轮廓仪 白光干涉仪 膜厚仪

优质供应

详细内容

Talysurf CCI 6000白光干涉仪

随着科技潮流,非接触式的量测至今已被广泛的应用在生产及研发上，而Taylor Hobson经多年的研发于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉仪可堪称目前世界上精度功能*强的白光干涉仪，,其超高解析度的特性（0.1Å），可以运用在量测晶圆，微机电及抛光元件等产品的粗糙度平面度及膜厚分析等，而非破坏性的特性更可以有效的量测软性物质，在迈入奈米纪元同时相信Talysurf CCI 6000绝对是各大企业不可少的量测系统。

Talysurf CCI 6000白光干涉仪：
&解析度（Z轴） 0.01nm （0.1Å）
&测量范围（Z轴） 100um
&测量范围（X x Y） 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm（依物镜倍率不同可自由选择）
&1024 x 1024 高解析量测点数
&受测物的反射率 0.3% - 100% （透明物亦可量测）

硬件及软件
&气浮式防震系统已隔绝楼板震动‧隔离罩以隔离外在环境避免影响量测精度
&相容于Windows 2000及 Windows XP 系统

CCI干涉仪 Mirau 干涉

白光干涉仪3D分析软件
&Talymap 3D & 2D 分析软体。
&可分析项目: 粗度平面度波纹膜厚体积计算承压比值等等。
&微机电尺寸计算（距离高度等计算）‧表面频谱分析（FFT）

MEMS Sensor
Optics Diamond Turned& Wafer Step

Talysurf CCI 6000白光干涉仪应用：
&MEMS 微小尺寸计算
&Silicon Wafer 表面粗度平面度
&非球面镜表面粗糙度
&硬碟光碟表面组织形状
&OLED PDP LCD 膜厚分析计算