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Colibrys 的 MS7000 加速度传感器是广泛的应用于振动、惯性和倾斜/倾角领域的传感器. 强大而低功耗的设计加上的零位稳定性与相对高的带宽的结合了M7000 MEMS 加速度传感器很高的稳定性。MS7000 系列是一个电容式 MEMS 加速度计，它是由一个立体微加工工艺制成的硅元件，一个低功耗 ASIC 专用信号处理器和一个存储补偿值的微控制器等元件组成。该产品是一个低功耗的，校准的，功能强大和性能稳定的产品。该产品的零位稳定度和比例因子通常都小于全测量范围的0.1％。对于±2g 的 MS7002.3 型, 在宽带>800Hz（at -3dB）时，典型的零位温度系数为 100 µg /ºC,比例因子温度系数为100ppm/ºC。
特征
具有良好的高带宽零位稳定性
± 2g, ±10g 全测量范围
高冲击
低成本高性能
低功率模拟电压输出
TO8包装
应用
振动测量 数据记录器
HUMS
结构监测
惯性测量 钻井（石油和天然气）
民用航空
倾角测量 仪器仪表
交通运输
参数
| Specifications | 所有数值特指在温度20 °C （+86°F）和3伏工作电压条件下，除非另外说明。 | ||||
| | Units | MS7002.3 | MS7010.3 | ||
| 全部测量范围 | g | ± 2g | ± 10g | ||
| 封装 | TO8, 12 管脚 | TO8, 12 管脚 | |||
| 零位校准 | mg | < 10 | < 50 | ||
| 1年时间的零位稳定性[1] | mg typ. （max.） | 2 （< 5） | 10 （< 25） | ||
| 零位温度系数[3] | mg/°C typ. | 0.1 | 0.5 | ||
| mg/°C max. | ± 0.4 | ± 2 | |||
| 比例因子（输出灵敏度） （K1） | mV/g | 500 ± 4 | 100 ± 1 | ||
| 一年期比例因子稳定性[2] | ppm typ. （max.） | 500 （< 1000） | 500 （< 1000） | ||
| 比例因子温度系数[3] | ppm / °C typ. | 100 | 100 | ||
| min. / max. | -50 / 250 | -50 / 250 | |||
| 输入轴偏心度（Kp, Ko） | mrad max. | < 10 | < 10 | ||
| % max | 1 | 1 | |||
| 分辨率/阈值（@ 1Hz） | mg max. | < 0.1 | < 0.6 | ||
| 非线性度 | % of FS max. | < 0.8 | < 0.9 | ||
| g max. | < 0.02 | < 0.09 | |||
| 带宽[4] | Hz | 0 to ≥ 800 | 0 to ≥ 600 | ||
| 噪声谱密度 [0 ; 9kHz） | mV/Hz typ. | 7 | 7 | ||
| max. | < 18 | < 18 | |||
| 谐振频率 | kHz | 1.4 | 3.7 | ||
[1]: 一年期稳定性是按 IEEE 528-2001标准: 打开/打开, 放置在-55°C 和 85°C环境中,在 -40°C 到125°C 之间循环,在-55°C 和 85°C环境中，不带电经受扰动，震动和冲击。
[2]: 温度系数是定义在–40°C到20°C温度范围, 其中温度变化是线性的.
[3]: 带宽的定义是在某一频段其灵敏度降低到 3dB以下.
