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日本电子热场发射扫描电子显微镜
企业档案
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详细内容
JSM-IT800 整合了我们用于从高分辨率成像到快速元素分析的“浸没式肖特基 Plus 场发射电子枪”、创新的电子光学控制系统“Neo Engine”以及无缝 GUI 系统“SEM Center”,该系统采用一体化 JEOL X 射线能量色散谱仪 (EDS) 作为通用平台,进行快速元素分析。
JSM-IT800 允许物镜作为一个更换模块,提供不同的版本以满足各种用户需求。JSM-IT800 有五种版本,提供不同的物镜:混合型物镜 (HL),这是一种通用 FE-SEM;超级混合物镜(SHL/SHLs,具有不同功能的两种版本),可实现更高分辨率的观察和分析;以及新开发的半浸没式物镜(i/is,具有不同功能的版本),适用于纳米材料、化学、新材料、半导体器件的观察和分析。
此外,JSM-IT800 还可以配备新型闪烁体背散射电子探测器 (SBED) 和多功能背散射电子探测器 (VBED)。SBED 支持以高响应性获取图像,即使在低加速电压下也能产生清晰的成分衬度,而 VBED 可以帮助获取 3D、形貌和成分衬度的图像。因此,JSM-IT800 可以帮助用户获取丰富多样德 信息并解决测量中的问题。
性能特点
主要的选配件
- 高位电子检测器 (UED)
- 背散射电子检测器 (BED)
- 闪烁体背散射电子检测器(SBED)
- 多用途背散射电子检测器(VBED)
- 透射电子检测器(TED)
- 低真空 (含低真空背散射电子检测器LVBED)
- 低真空二次电子检测器 (LVSED)
- 电子背散射衍射 (EBSD)
- 波谱仪 (WDS)
- 软X射线分光器 (SXES)
- 探针电流检测器
- 样品台导航系统
- 样品室相机
- 操作桌
- 操作面板
- LIVE-AI过滤器ー
- SMILE VIEW™ Map