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和伍水浸超声扫描显微镜半导体缺陷检测仪
企业档案
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详细内容
超声扫描显微镜(SAT)是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备,主要利用高频超声波,对各类半导体器件、材料进行检测,能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷,并以图形的方式直观展示。在扫描过程中,不会对样品造成损伤,不会影响样品性能,可有效满足新能源、半导体、电力电子、热管理材料、金刚石复合材料、碳纤维复合材料等行业需求。
1、具备A(点扫描)、B(纵向扫描)、C(横向扫描)、透射扫描(需配置透射扫描单元及接收探头选项)、多层扫描、Tray-托盘扫描,厚度测量等系列扫描模式。
2、具备定量测分析功能,以图像方式直观显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小,并进行缺陷的尺寸和面积统计,自动计算缺陷占所测量面积的百分比;具备缺陷尺寸标识;厚度与测距等功能。
3、具备图像着色功能,可根据相位翻转自动着色;可根据灰度等级手动着色;可根据厚度变化,自动着色;
4、适用于单个器件的快速扫描分析,也可批量放置样品同步进行缺陷识别,快速筛选出不合格品。
5、可兼容1~110MHz的超声探头。
6、检测软件自主研发,中英文界面,可根据客户需求对功能进行持续升级。
产品参数:
序号 | 机电特性 | 规格型号 |
1 | 整机尺寸 | 1000mm×900mm×1400mm |
2 | 水槽尺寸 | 620mm×650mm×150mm |
3 | 有效扫描范围 | 350mm×300mm×100mm |
4 | 扫描速度 | 600mm/s |
5 | 超声探头 | 可兼容1~110MHz的超声探头。 |
6 | 定位精度 | X/Y≤±0.5μm,Z≤±5μm |
7 | 重复定位精度 | X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm |
产品主要配置表:
序号 | 名称 | 规格 |
1 | 扫描系统 | X轴:直线电机驱动;Y轴:伺服电机驱动;Z轴:步进电机驱动 |
2 | 水槽 | 620mm x 650mm x 150 mm |
3 | 超声发射、接收器 | 带宽1-65MHz |
4 | 高速数据采集卡 | 采样频率 500MHz |
5 | 工控机 | i5处理器、内存8GB、硬盘1T、Win10 64位操作系统。 |
6 | 显示器 | 两个27"液晶显示器 |
7 | 检测软件 | 和伍超声无损检测软件 |
行业应用:
锂电池、塑封IC、光电器件、微波功率器件、MEMS器件、倒装芯片、堆叠Stacked Die、MCM多芯片模块、金刚石复合片、电器焊接件、陶瓷材料等。