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/ AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机  /

天，我们激动地推出一款革命性的新产品——Phenom AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机，这是一款将 SEM 与 AFM 结合的全新设备，它将开启台式电镜原位关联的新时代，为样品分析带来所未有的可能性。

Phenom AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机能够提供多种测量模式，包括机械性能、相关性分析、磁性能、电机械性能和电性能等，覆盖了从亚纳米地形测量到局部弹性、硬度、磁畴成像、压电畴成像、导电性映射、局部表面电势映射以及局部电性能等多个域。

01 为什么选择 Phenom AFM-in-SEM

扫描电子显微镜和原子力显微镜是两种常用且互补的亚纳米样品分析技术。将 AFM 集成到飞纳台式扫描电镜中，合并了两种技术的优势，既不占用空间，又大地提高了工作效率，并使得复杂的样品分析成为可能。

CPEM（Correlative Probe ａnd Electron Microscopy）技术为原位关联显微镜带来了革命性的技术。这种硬件关联技术能够同时获取 SEM 和 AFM 数据，并实现它们的自动无缝关联。

• 原位样品表征：在 SEM 内部的原位条件下确保样品分析同时、同地、同条件下进行，并且在飞纳电镜内部也能实现原子分辨率。

• 精确定位感兴趣区域：使用 SEM 导航 AFM 尖端到感兴趣区域，实现快速且精准的定位。

无论是材料科学、纳米技术、半导体、太阳能电池开发还是生命科学等域，Phenom AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机都能提供无与伦比的样品分析和高 3D 关联成像的准确性。

• 材料科学：1D/2D 材料、钢铁&金属合金、电池、陶瓷、聚合物和复合材料

• 半导体：集成电路、太阳能电池、失效分析、掺杂可视化、电流泄漏定位

• 纳米结构：FIB/GIS 改性表面、量子点、纳米结构薄膜、纳米图案、纳米线

• 生命科学：细胞生物学、海洋生物学、蛋白质技术

02 Phenom AFM-in-SEM 应用案例

案例一 钢铁和合金的复合分析

利用原子力显微镜对双相钢进行复合分析，揭示了表面形貌（AFM）、铁氧体晶粒的磁畴结构（MFM）、晶粒相比（SEM）和表面电位杂质 开尔文探针力显微分析法。相关多模态分析揭示了复杂的性质，扫描电镜精确定位 ROI，AFM 综合分析。

案例二 电池的原位表征-锂镍锰钴氧化物

固态电池（SSB）比锂离子电池显示出更高的能量密度、更长的寿命和更好的安全性。由锂镍锰钴氧化物（NMC）颗粒组成的正胶带在手套箱中经过 200 个周期后被打开，原位切割并使用 AFM-in-SEM 测量。

SEM 成像识别了感兴趣的抛光区域。EDS 图显示了正胶带的组成，包括固态电解质、NMC 颗粒和碳添加剂。C-AFM 确认了碳添加剂的导电性及其在连接性中的作用。这种 AFM-in-SEM 相关性有助于在不改变样本表面的情况下识别材料功能或故障。

案例三 半导体材料-二硫化钼（MoS）

二硫化钼（MoS）是一种 2D 层状 TMDCs，适合作为地球上丰富的催化剂或电子设备中的 2D 半导体。需要充分理解这些单层的制造条件，以确保可靠和可重复的属性，如灵活性、独特的电性或机械属性。

我们展示了 AFM-in-SEM 解决方案，用于精确和复杂分析通过 CVD 在厚 SiO/Si 上生长的 MoS 薄片。所有技术——SEM、AFM、EFM和相位成像——都在两组不同制造条件下的样本上同时测量。这种方法可以比较结果，以确定佳的制造参数，以实现所需的样本特性。使用 AFM 地形、SEM、EFM 和相位成像对 MoS 进行复杂表征。

案例四 药物载体介孔粉末颗粒表征

介孔粉末颗粒是适合的药物载体，可以附着活性药物成分（API），并用于我们体内的靶向药物输送。在这里，我们展示了有无 API 附着的特定颗粒表面粗糙度的直接测量，这有助于更好地理解表面影响，更有效地应用 API 以改善口服药物输送过程。

我们使用 AFM-in-SEM 测量并评估了不同 API 处理的二氧化硅颗粒的表面粗糙度。比较结果，未处理的颗粒比有 API 的颗粒具有更低的表面粗糙度。尽管大部分 API 处理被束缚在孔隙中，在某些部分，API 重新结晶并形成了覆盖整个颗粒顶部的 API 团簇。

03 Phenom AFM-in-SEM 可选配件

• 样品旋转模块：对于 FIB 铣削程序后的 AFM 分析非常有用。它还允许同时将多个样品安装到 SEM 内，并在不打开仓门的情况下进行 AFM 和 SEM 关联测量。

• 数字相机导航模块：数字相机精确导航 AFM 探针。