精修离子束系统【新品】
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品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号:GIB 原产地:中国大陆 发布时间:2024/6/14 17:01:51更新时间:2024/12/20 16:59:37
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详细内容
GIB 精修离子束系统
用于扫描电镜 / 双束电镜的氩离子束方案
Technoorg Linda 的低能氩离子枪(GIB) 适用于表面减薄、其他表面处理后的后处理、清洁以及去除无定形和氧 化物表面层。 当低能氩离子枪集成到扫描电镜中时 ,其作用尤为明显。有了集成离子枪 ,就可以在研究之对样品 进行精修。 实现高质量样品的另一个重要应用是在双束 SEM / FIB 系统中进行 FIB 样品制备后,对 TEM 样品进行 终抛光和温和的表面清洁。
仪器控制单元
可与扫描电镜集成
带波纹管的传输系统可通过连接管安装到扫描电镜上。连 接管输出法兰的尺寸与相应的 SEM 端口尺寸相匹配。通 过线性传输系统提供的离子源流动性,可实现理想的工作 距离(15-30 mm)。
低能量氩离子枪
低能量离子枪的直径和长度均为 50mm。氩离子束的能 量范围:100eV - 2kV。 2kV 时的大束流为 70µA。离 子束为宽束,半大全宽(FWHM)为 2mm。
半管支架
低能量离子枪安装在半管支架中。
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