离心式清洗甩干机 清洗甩干机 甩干机 离心甩干机   离心式甩干机

HXS150S离心式清洗甩干机主要技术指标及性能：

1．1个工作室、2个工位（同时放置2个片盒）

2．硅片规格4″～8″

3．无级调速、还转速2500rpm

4．过滤器过滤精度：0.2μm

5．热氨（N2）烘干、温度40~50℃

6．具有去离子水电阻率检测功能，电阻率大于18MΩ

7．具有静电消除功能，以提高清洗质量及清洗效率。

8．液晶全中文显示、可编程控制、可存储10个工艺程序。

9．参数监控（电导率、工艺步骤、转子转速和时间显示） 及机内故障诊断。电路、水路隔离、漏电保护、急停按 钮、运行安全。

10．工作条件： 电源：220Vac50Hz 功率：2KW 净化空气：压力：0.6Mpa 流量：2m3/h 净化氢气：压力：0.5 Mpa流量：10m3/h 去离子水：压力：0.3Mpa过滤精度：0.2μm 流量：0.6m3/h

相关产品链接:HXS150S离心式清洗甩干机

匀胶机/涂胶机  腐蚀清洗机  清洗甩干机    热板炉烘烤  划片机  显影机  半自动晶片处理系统