J51152/ZF6英寸划片机

划片机 切割机 分切机

J51152/ZF6英寸划片机主要技术规格：

硅片加工尺寸：Ø152.4mm (6")

x轴　 (1)行程：200mm (2)工作行程范围：20~160mm (3)切割速度分两级： a)进给：0.1~70mm/s 回程：70mm/s b)进给：1~300mm/s 回程：300mm/s

y轴　 (1)行程: 160mm (2)*小步进距离:0.002mm (3)步进距离:30mm/s (4)定位精度:0.003mm

z轴　 (1)行程19mm(以Ø 50刀盘为准) (2)*小步矩0.002mm

θ轴：手动旋转：90˚±30"（可微调）

主轴转速范围：10,000~40,000r/min (通常在30,000r/min) 功率 400W CCD对准系统设备尺寸mm(宽x深x高)：约906x1020x740

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