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纳米压痕仪 G300 所使用的样品台可支持直径达 300 毫米的样品。对于工业用户来说，G300 是一款极佳的长期投资产品，可提供快速、可靠的方法以获取整个硅片的机械数据。 G300 能够进行多层测试，简化产品开发过程。并且它还能够进行故障分析，避免其对产品生产良率、性能以及使用寿命的重大影响。
电磁驱动器具有极佳的力和位移动态范围。它可测量超过六个数量级（从纳米到毫米）的变形。主要特性与技术指标
