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探头配置
前载式双探头的标准配置中水管与晶片平行。当晶体监测沉积速率时，气动晶体挡板保护备份晶体。挡板是下拉式结构,
便于更换晶体。为有效地消除RF干扰，暴露的晶体电极是全部接地的。
法兰
INFICON 提供两种法兰，1" 螺纹法兰或 2¾" (CF40) ConFlat® 法兰。 按用户要求可提供 KF40 法兰。
法兰连接
前载式双探头可订购与法兰的组合。探头/ 法兰连接可采用直口接头或焊接 ( 当与 1" 螺纹法兰组合时) 。如需焊接连接，必须在订购前填写INFICON 提供的一个探头长度规格表。直口接头易调整，无钎焊或焊接的要求。法兰可沿着管长移动，对于 "E" 长度探头, 在真空系统内的长度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 (8"- 28") 的范围内调整，对于 "G" 长度探头，一旦确定所需长度，直口接头可用手指拧紧管密封件。
优 点
■ 双晶体
■ 晶体挡板
■ 前载式晶体支架
■ 易安装
■ 可提供:
- 2.54 厘米 (1 " ) 螺纹法兰
- CF40 法兰
■ 如订购直口接头的, 可调节长度
■ 如订购直口接头的, 无需钎焊或焊接至法兰
■ 可按客户要求提供特定长度焊接的探头 / 法兰组合.
