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INFICON Guardian 是光伏组件、OLED、光伏装置、超导薄膜以及 MBE 制造应用的理想之选。
Guardian 共沉积系统基于电子碰撞发射光谱 (EIES) 技术而构建。利用 EIES，要沉积的材料在热离子发射体的作用下生热，从而产生光子。产生的光通过光滤波器达到光电倍增管 (PMT) 检测器，光电倍增管检测器可以测量所通过波长的发射强度。然后，INFICON Guardian 控制器产生信号来控制该材料源。对于多种材料，可以将其他检测器与相应的光滤波器结合使用。
完整的 Guardian 系统至少包括一个传感器、一个 PMT 检测器、一个光滤波器、一个 Guardian 控制器装置以及一个安装有 Guardian 软件的 PC（用户自备）。EIES 通常用于控制多种材料的沉积，因此，大多数 EIES 系统还包括其他传感器、检测器、光学器件（例如分裂器）以及 QCM，QCM 用于校准或控制某些材料的沉积速率。如需关于典型系统的更多信息，请参阅下面的 Downloads（下载）选项卡中的《Guardian 配置指南》。
要配置 Guardian 共沉积系统，需要考虑以下几点
沉积材料的初级和二级发射波长分别是多少？
如果不同材料峰值相近，您可能需要监控二级发射波长，该波长的信号强度较低。
沉积过程中，真空室中存在哪些本底气体？这些气体对应的发射波长是多少？
如果本底气体的发射对沉积材料造成干扰，建议使用气体补偿传感器。
EIES 使用定义的原子种类范围时*有效。分子种类产生的发射光谱不稳定或者过宽，无法准确测量。不建议将 EIES 用于有机材料。各个具体应用的*佳 EIES 系统配置由以上因素及其他因素确定。
功能
- 监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
- 从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
- 集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
- 12 个继电器输出和 16 个数字输入
- 用于设置与操作的基于 Windows 的软件
- 与 INFICON Sentinel® 传感器兼容
