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功能
- 方便的现场可更换等离子单元
- 使用标准 KF25 连接方便地安装
- 更低的维护成本
- Excellent detection limits down to low ppm levels
- 工作范围为 10 mTorr 至 1 Torr
- 长期可靠性：无需泵
- Low cost of ownership
- 快速的 10 Hz 采样频率
- Small footprint: (H x W x L) 87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
- 有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持
