产品展示
苏州南通上海北京郑州洛阳宜兴无锡常熟张家港镇江南京合肥济南青岛厦门福州漳州珠海如皋嘉兴嘉定英福康inficon T
点击次数：75发布时间：2015/1/31 21:15:20
更新日期：2015/1/31 21:15:20
所 在 地：欧洲
产品型号：inficon Transpector XPR3残余气体分析仪
优质供应
详细内容
Transpector XPR3残余气体分析仪是新一代气体分析系统，可用于基于四极杆的高压过程气体分析。 它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验，具有前所未有的灵敏度、准确性和灵活性，可以监控气相沉积 (PVD) 过程。 Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破，无需大型、复杂的压力转换设备，即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。
功能
- 经过重新设计的离子源限度减少污染积存，可延长使用寿命，提供更纯净的信号。
- 新 EM 在 PVD 过程压力下工作，可实现更快速、更纯净的数据收集，消除 FC 向 EM 过度的必要，更便于数据分析。
- 更长的新型四极杆提高了低质量范围下的滤波性能，增强了丰度灵敏度，从而提高了氢气检测灵敏度。
典型应用
- PVD 过程模块
- 预清洗模块
- 非群集 PVD 工具
- 夹钳式除气模块
