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单级式减压结构
膜片与母体采用硬密封形式
母体接口螺纹：1/4” NPT （F）
安全压力：1.5 倍的输入压力
适用温度：-40°C 至 74°C （-40°F 至 165°F）
泄漏率：2 x 10-8 atm.cc/sec He
CV 值：0.14
重量：0.9 kg （2.0 lbs）
实验分析仪用低压减压阀的材质：
母体：316L
阀座：PCTFE，PTFE，Vespel?
膜片：316L，Hastelloy?
实验分析仪用低压减压阀的适用范围：
半导体制程
实验室
气相分析
测试仪表
石油化学工业
电厂设备
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