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MKS系列902b压电换能器结合了基于MEMS技术的压电传感器和金属密封压力测量技术316不锈钢膜片和集成电子学。该902b提供经济,绝对压力测量是独立的气体的类型。用测量范围为0.1到1000乇满刻度,该传感器是一个广泛的应用范围,包括半导体制造,薄膜涂层,冷冻干燥,分析仪器,医疗设备,汽车和航空航天。
美国MKS真空计 MKS 902系列压电绝对压力真空计优势:
0.1至1000乇的全面•测量范围
• Low cost transducer alternative to more expensive conventional transducers
•低成本传感器替代更昂贵的传统传感器
• Gas independent pressure measurement for accurate, total pressure measurement
•气体独立的压力测量准确,总压测量
• Sensor is suitable for harsh processes due to robust design and stainless steel construction
•传感器,适用于恶劣的过程由于强大的设计和不锈钢结构
• Solid state Piezo sensor resistant to damage from air inrush and vibrations
•固态压电传感器的抗空气涌流和振动损伤
• Compact system design with integrated electronics and sensor in one unit
•紧凑的系统设计与集成电子在一个单元中的传感器
• Mountable in any orientation for ease of installation
•安装在任何方向,安装方便
• Reduced process cycle time due to sensor’s fast, accurate and repeatable pressure measurements
•过程的周期时间减少由于传感器的快速,准确和可重复的压力测量
• Ease of operation with both analog output and digital communication
两个模拟输出和数字通信操作•缓解
• Multiple analog output emulations available
多个模拟量输出的仿真提供•
• Process control from up to three set point relays with fast response time
•过程控制从三点继电器具有快速响应时间
• Display version available
•显示版本
• CE marked, compliant with EMC Directive 2004/108/EEC and RoHS
•CE标志,符合EMC指令2004/108/EEC指令
美国MKS真空计 MKS 902系列压电绝对压力真空计应用:
902b适合无菌环境因为暴露在真空中的材料是不锈钢316。这包括冷冻干燥过程和等离子体灭菌医疗设备。该902b具有极高的性能价格比,使它更昂贵的传统传感器的一个很好的选择,尤其是在应用中的测量精度的是不需要的。这包括真空包装在食品工业和真空炉。该902b能抵御恶劣的环境,重力和机械振动。这是一个一般的前级真空测量应用的很好的候选人。数字通信接口,输出模拟仿真,三点的选择和紧凑的设计使得902b通用传感器,易于集成在大多数的真空系统。