功能

・ 二次离子质谱

原理

用聚焦离子束溅射试样表面，收集和分析排出的二次离子；

数据采集

这些二次离子的质量/电荷比及质谱可确定元素，同位素，或分子组成；

・激光二次中性质谱（Laser-SNMS）

原理

用聚焦离子束溅射试样表面，使用激光共振电离大多数溅射中性原子；

数据采集

与二次离子质谱相同

・聚焦离子束精细加工

可以通过连续Ga聚焦离子束连续溅射样品表面除去想要除去的部分；

・二次离子质谱及扫描电子显微镜观测

可实现二次离子质谱及扫描电子显微镜两种观测方式；

主要特点：

1. 高空间分辨率

□ 横向分辨率 < 40nm

□ 质谱分辨率 m/Δm >7000@m/z=56

2. 可原位加工和分析，避免暴露于空气中

□ SEM小损伤观测，可定位值FIB相同位置；

□ 可分析颗粒表面及横截面；

3. 可实现激光二次中性质谱

□ 与传统SIMS相比可显著改善信号灵敏度；

□ 高灵敏度的有机化合物分析；