白光干涉仪:非接触式三维表面形状测量仪可以沿垂直轴方向对被测物体进行扫描，它采用光学干涉技术，精密测量样品的表面形状分布。
与共聚焦显微镜、调焦显微镜等三维表面测量技术相比，该表面形状测量仪具有更高的垂直分辨率。

Sunny VSI三维表面形状测量仪可安装在配套的三维数控平台上，实现横向扫描。

系统构成
1）光学照明系统
2）光学成像系统
3）垂直扫描控制系统：
4）信号处理系统：
5）应用软件：
6）显示器

应用领域
LED晶片基板测量
表面粗糙度/平整度分析
硬盘悬臂焊接点的直径测量
太阳能电池纹理缺陷检测

参数 白光干涉仪型 号 Sunny VSI
垂直测量分辨率 0.05um
横向测量分辨率 2.767um/plxels
图像分辨率 768*576 plxels
扫描体积 2.125mm*1.593mm*100um
均方根值重复精度 <0.5nm

白光干涉仪网址 www.-china.com