产品编号:YT800000215    产品名称：洁净工作棚  MINi-Environment （超微环境）  使用客户：SMIC   GSMC    HHNEC

适用于晶圆厂、LED、光电涂装行业，

框架材质：本公司特制之铝型材并配以隐藏式连接件连接，摒弃了传统的四面开槽铝型材，本公司自主                开发研制了二面三面开槽，其它的平面铝型材，的好处在于不容易积尘，特别适用于               CLASS1    的环境，

封板：顶部采用日本进品防静电不锈明板，下部分采用日本进口5mm防静电PVC板（积水化学），配以本公司开发之气密压条封设，气密性极佳

FFU系统：采用德国原装进口EBM电机制作FFU，使用寿命8万小时以上，过滤系统使用进口滤纸制作之超高效过滤器，过滤效率99.99997%at0.1um，净化级别Class 1

源拓净化致力于洁净行业的发展，开发设备洁净室各种生产辅助设备，不锈钢设备，
洁净棚是一种投资少而净化级别高，移动比较方便的简易净化装置。将洁净层流罩FFU放置在由专业净化铝型材组装而成的框架上。顶部由盲板铺盖，密缝严密，四周用防静电帘/防静电有机玻璃围缝使棚区内洁净度达到Class 1-10000级。 
洁净工作棚结构比较简单、体积较小、重量轻、适合吊挂或移动，因而增加了在适应工艺多变的大面积厂房应用可能性。加上这种设备固有的内部操作自由度大，无视觉和运输障碍，其发展忽视。它是一种投资少、实施快、性能高、耗能低的局部洁净区设备。
主要特点：  
1、模块化、组装式结构设计，施工简便可大大缩短现场施工时间； 
2、成本低，移动方便。 
3，适用于局部洁净区域洁净度的提高

正面图，微环境适用于半导体晶圆厂特殊机台局部净化之功能

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