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美国MDC公司的CSM/Win系列C-V测试仪包含了单频、多频电容电导仪和准静态电容表。对于任意一种类型的仪表,都可以根据需要来选择它的精度和电压范围。
MDC公司的C-V测试系统不仅仅可以测量半导体材料的电容电导(capacitance and conductance)特性,还包括电流电压(current-voltage )测试、 栅氧损耗(gate oxide integrity)、MOS电荷分析(advanced MOS charge analysis)、表面陷阱电荷密度(interface trap density)、介电常数(dielectric constant)和TVS分析(Triangular Voltage Sweep analysis)等等。另外,也只有MDC公司才可以帮助客户实现其特殊应用的需求。我们可以根据用户的需要来定制软件和硬件系统,用以满足不同客户的需求。
有两种平台:水银(汞)探针(Mercury Probe)、热吸盘(Hot Chuck)可供选择。