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PVD用真空溅射镀膜电源 高频开关电源
点击次数：465发布时间：2013/6/5 11:49:55
更新日期：2013/11/15 12:01:36
所 在 地：中国大陆
产品型号：WS-20V2000A
优质供应
详细内容
产品简介
本公司生产的真空镀膜电源（真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源）
有以下特点：
有以下特点：
1、恒压，恒功率
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。
3、工艺重复性好。
4、提高成膜速度， 实现高质量的溅射膜层。
技术参数
| 品名 | 真空镀膜电源 | |
| 型号 | SPWM系列 | |
| 输入 | 相数 | 单相或三相 |
| 电压 | 220/380V | |
| 频率 | 50Hz | |
| 输入方式 | 4线（含地线） | |
| 输出 | 波形 | 直线 |
| 功率 | 30KW /60KW /100KW（可定制） | |
| 电压 | 0—1200V（可定制） | |
| 稳定度 | ≤1% | |
| 电流 | 0—200A（可定制） | |
| 稳定度 | ≤1% | |
| 纹波及杂讯 | ≤5%或≤3% | |
| 效率 | ≥90% | |
| 控制 | 功率 | 可选择 |
| 电压 | 恒压控制，可本地控制也可通过0-10V或4-20mA | |
| 电流 | 可选择 | |
| 保护 | 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 | |
| 冷却 | 风冷 | |
| 外型 | 外壳 | |
| 尺寸（W*D*H） | *600mm*（30KW） | |
| 重量 | 30KG（30KW） | |
| 备注 | | |
开关电源特点
体积小，重量轻，效率高，节能效果显著。功率因子高，对电网污染小。输出纹波小。输出电压，电流独立可调，恒压，恒流自动转换。
真空镀膜应用领域
真空镀膜行业不同于以往的电镀行业，属于物理方式的表面处理行业。广泛用于各种金属及非金属镀膜装置，涂镀光元件、微电子元件、磁性元件、钟表、种类装饰材料、体育用品、精密工模具、薄膜包装等镀膜制品，以及应用于现代工业、航空航天航海等军事领域的镀耐蚀膜、耐磨损膜、固体润滑膜装置。
本公司自主研发生产的真空镀膜电源，成功地运用了优异的脉宽调制技术（PWM），引进三菱、富士等国外的IGBT核心执行元件，大功率机器采用结构均流技术，并配以各种完善的保护功能，使得高频开关电源可靠性问题得到了圆满解决，满足低纹波要求，且体积小、重量轻、节能环保，是一种性价比*优异的直流电源产品，也是可控硅整流电源的替代品。
| 电源类型 | 三相桥式整流 | 六相双反星形整流 | 高频开关直流电源 |
| 体积 | 一般 | 较大 | 较小 |
| 功率因数 | 随导通角变化 | 随导通角变化 | 始终≥ |
| 电源效率 | 左右 | 左右 | ≥ |
| 谐波含量 | 较大（导通角小时较大） | 一般（导通角小时较大） | 较小（功率大小基本不变） |
| 节能效果 | 无 | 一般 | 较好 |
| 噪音 | 一般 | 较大 | 无 |
| 成本 | 一般 | 比较高 | 比较高 |
