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精确地探测大气中高浓度的水-大约(%V01)是一项富有挑战性的技术。Teledyne公司充分利用其50年的技术,成功地开发出了ppb/ppm级水分析仪,生产了备受赞誉的微量水分析仪-8800系列。
核心产品—超薄膜(HTF)Al2O3技术
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8800系列采用超薄膜(HTF)Al2O3技术,可精确地探测任何场合下的微量水。
所有的Al2O3传感 器遵循的工作原理:上层金膜、下层为铝。氯化铝层的水含量变化引起介电常数的改变,导致电容的改变。从而检测出水的含量。
8800系列采用的HTF超薄膜技术与其它传统的氧化铝传感器相比具有的线性和稳定性,回应时间快。
HTF层
HTF传感器有极薄的氧化层且不影响氧化层的强度。氧化层越薄则电容变越大信号也越强。
隔离层
HTF传感器中,在氧层与铝层之间是均匀的几何孔洞,内层产生电容和电极紧密连接,轮流导致传感器强湿度到干容量比率。这样益处是受温度、电噪音和老化漂移等干扰因素影响小。
几何原理 :HTF与传统传感器的区别在于采用几何孔洞原理。
传统传感器依赖吸湿性Al2O3构造吸附水,HTF传感器设计成电介质在孔洞中的改变导致电容的改变。几何孔洞在测量过程中结构变化很小,传感器不易老化并保持稳定,寿命长。一般情况下不需标定。