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仪器参数：
| 仪器型号 | VMS-1510T | VMS-2010T | VMS-2515T | VMS-3020T | VMS-4030T | ||
| 工作台 | 金属台面尺寸（mm） | 354×228 | 404×228 | 450×280 | 510×290 | 606×466 | |
| 玻璃台面尺寸（mm） | 210×160 | 260×160 | 306×196 | 360×260 | 450×350 | ||
| 运动行程（mm） | 150×100 | 200×100 | 250×150 | 300×200 | 400×300 | ||
| 仪器重量（Kg） | 100 | 110 | 120 | 200 | 240 | ||
| 外形尺寸（mm） | 540×560×850 | 760×600×900 | 760×670×940 | 970×670×940 | 970×670×940 | ||
| Z轴升降行程 | 150mm | ||||||
| 工作距离 | 108mm | ||||||
| X、Y、Z数显解析度 | 1μm | ||||||
| X、Y坐标示值误差 | ≤（3+L/200）μm | ||||||
| 影像系统 | 摄像机：彩色1/3" CCD 变焦物镜倍率：037~4.5X 视频总倍率：30X~230X 物方视场：7~1.1mm 表面光源与透射光源均使用LED，亮度可调节 | ||||||
| 电源 | AC180~360V | ||||||
| 测量功能 | 采用英国Renishaw精密测头，可测线、角、圆、圆心距、角度、高度、平面距、空间距、平整度、球体等 | ||||||
