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规格参数：
| 型号（Model） | Fetura2000（H）（A） | Fetura3000（H）（A） | Fetura5000（H）（A） | Fetura8000（H）（A） | |
| 测量范围（mm） | X | 200 | 300 | 500 | 800 |
| Y | 200 | 300 | 500 | 800 | |
| Z | 200 | 250 | |||
| 技术指标Technical Features | |||||
| 影像摄取系统 | SONY 1/2" High-resolution black & white CCD camera | 德制1394接口，数字式1/2"高分辨率彩色CCD，达到每秒80幅显示频率 | |||
| 分辨率 | 0.1um | ||||
| 重复精度 | X、Y=1.3um；Z=2.5um | （H）X、Y=1.3um | X、Y=1.3um；Z=2.5um | （H）X、Y、Z=2.0um | |
| 测量精度 | U1 x、y = （1.5+L/333）um Advance：U1 x、y = （1.0+L/333）um | U1 x、y = （2.0+L/333）um Advance：U1 x、y = （1.0+L/333）um | |||
| U1 z = （3.0+L/250）um Advance：U1 z = （2.0+L/250）um | U1 z = （3.0+L/250）um Advance：U1 z = （1.5+L/250）um | ||||
| U2 x、y = （2.0+L/250）um Advance：U2 x、y = （1.5+L/250）um | U2 x、y = （2.5+L/250）um Advance：U2 x、y = （1.5+L/250）um | ||||
| 光源照明系统 | 同轴光（黄色LED） 轮廓光（黄色LED） 环光（黄色8向16位） | 同轴光（2组白色LED，含图案对焦光学片及机构） 轮廓光（白色LED） 环光（白色7向14位附彩色CCD） | |||
| 雷射激光系统 | Keyence LKG30 光点理论直径：30um 工作范围：±4.5um 参照距离：30mm 光波长度：650nm | ||||
| CCD两种对焦模式 | 快速对焦（约1.5秒）& 高精度对焦 | ||||
| 雷射对焦 | 单点对焦/扫描对焦 | ||||
| 缩放倍率 （2*3段同轴Zoom） | 1X物镜 | 25X 50X 100X （分辨率：1280X1024 17"） | |||
| 2X物镜 | 50X 100X 200X （分辨率：1280X1024 17"） | ||||
| 焦距/工作范围 | 1X物镜 | 92mm/81~93mm | |||
| 2X物镜 | 36mm/34~37mm | ||||
| 机器特征Machine Features | |||||
| 机器型式 | 花岗岩床台固定桥式 | ||||
| 机器重量（净重/毛重） | 590kg/660kg | 710kg/810kg | 1080kg/1230kg | 2120kg/2320kg | |
| 载荷 | 30kg | ||||
| 运行速度 | X、Y=200mm/s Z=100mm/s | X、Y=300mm/s Z=200mm/s | |||
| 加速度 | 1000mm/s2 | ||||
| 系统特征System Features | |||||
| 控制系统 | 全自动CNC控制系统 | ||||
| 驱动系统 | 四轴程控：三轴交流伺服马达全闭回路控制，高精密级线性滑轨与预压滚珠螺杆驱动，步进马达Zoom同轴控制镜头组 | ||||
| 软件配置 | 标准 | PowerMetrix 3.0 | |||
| 选配 | 制程统计管制SPC模块（网络版）；QV、VMS程序转换系统PowerMetrix离线版；3D型状误差动态分析软件；CAD整合型报表；精密测量操作系统等 | ||||
| 操作系统 | Windows XP | ||||
| 外部工作环境Operating Environment | |||||
| 电源 | 220V 50～60HZ >10A | ||||
| 功率 | 1.5KW | 2.0KW | |||
| 温度范围 | 20℃±2℃ 1℃/1h 2℃/24h 1℃/m | ||||
| 湿度范围 | 40%~70% | ||||
| 电脑配置 | 可选（实际出货以报价单为准） | ||||
