950年英国FERRANTI公司建造出台数字式测头移动型三坐标测量机、1973年前西德OPTON公司完成三维测头设计并与电子计较机配套推出个三坐标测量系统以来，经过几十年的快速成长，坐标测量手艺已臻成熟，测量精度获得极猛前进，测量软件功效加倍壮大，独霸界面也日趋完善，生产厂家广泛全球，斥地出了适于分歧用处的三坐标测量机型。
（1）机械接触式测头
接触式测头又称为“刚性测头”、“硬测头”，个体用于“静态”测量，大多作为接触元件独霸。本文构和的重点为触发式测头。测针的有用工作长度（EWL）使得测针接触工件时可获得切确的测点地位。若何选用合适的测针类型和规格取决于被测工件的特点，可是在任何景象形象形象下，测针的刚性和测球的球度都是不成或缺的。
除用于空间尺寸及形位误差的测量外，独霸坐标测量机对未知数学模子的复杂曲面进行测量，提取复杂曲面的原始外形信息，重构被测曲面，实现被测曲面的数字化，不成是坐标测量机独霸的一个重要规模，也是反求工程中的关头手艺，比来几年来也获得快速成长。
在用三坐标测量机测量点元素时，测量软件在主动抵偿测球半径过程中会闪现测球半径抵偿误差。是以按其功效，电气接触式测头又可分为作对准用的开关测头和存在测微功效的三向测头。但该测量值是一个与测头的机械惯性有关的动态值。
1、测头的分类
测量头作为测量传感器，是坐标测量系统中很是重要的部件。现实上，测量作为一个动态过程，其测量值应当考虑到从测头采点到现实向系统传递该点坐标值时产生的机械空间移动间隔。
在现实测量时，每测量一个元素，系统都可以主动分辨测球半径的抵偿标的方针，计较切确的抵偿半径。经过过程独霸参考坐标系找正工件或用CNC模式进行测量，使测头沿着被测概况的法线标的方针移动聚积点的坐标，可以尽可能减小测球半径抵偿误差，切确进行测球半径抵偿，前进测量精度。是以，测量时要尽可能使测针轴线与被测概况垂直，使测头沿着被测概况的法线标的方针移动，以限度地减小测球半径抵偿误差。这类测头没有传感系统，无量程、不发讯，只是一个纯机械式接触头。测针安装在测头上，是测量系统中直接接触工件的部分，它与测头的通信式毗连渠道称作触发记号记号。几十年的成长充实证实，古代三坐标测量系统攻破了传统的测量模式，存在通用、矫捷、高效等特点，可以经过过程计较机节制完成各类复杂零件的测量，合适机械建造业中柔性主动化成长的需要，能够满足古代生产对测量手艺提出的高精度、高效率请求。
2 、测球半径抵偿误差
（1）测针的选择
切确选择和独霸测头是影响三坐标测量机的测量精度的重要成分。球头尺寸和测针有用工作长度的拔取取决于被测工件。
（2）测球半径抵偿误差
当测针接触到工件时，三次元领受的的坐标值应是红宝石球头焦点点坐标，较着，测量软件将主动沿着测针从接触点回退的标的方针加上一个测球半径值作为测量值。由于其较着的短处短处，今朝这类测头已很少独霸。当然这个间隔极小，但对系统计较动态尺寸有必定影响。按测量编制，可将测头分为接触式（触发式）和非接触式两大类。
①测球半径r对抵偿误差的影响
抵偿误差δ与测球半径r成正比关系，即测球半径r越小，抵偿误差也越小。需要时可加长测杆以增大探测深度，但值得正视的是，独霸测针加长杆会降落刚性，从而降落测量精度。三坐标测量机的工作效率、精度与测量头慎密慎密慎密慎密慎密慎密密切相干，没有前进先辈的测量头，就没法阐扬测量机的超卓功效。
财产用红宝石是高硬度的陶瓷材料，红宝石测球存在很好的球度，测量时红宝石测球的球头磨损可轻忽不计。测针针杆个体用非磁性的不锈钢针杆或碳钨纤维针杆，以保障测针的刚性。机械接触式测头重要用于手动测量。在采点初步后，测量软件将在沿着测针接触工件的标的方针上对测球进行半径抵偿。
②测针轴线与被测概况法线间的夹角α对抵偿误差的影响
当测针轴线与被测概况法线间的夹角α即是0时，测球半径抵偿误差δ也为0。是以当用三坐标测量机进行点位测量时，应选用尽可能小的测球。二次元测量机触发式测量头又分为机械接触式测头和电气接触式测头；非接触式测头则搜罗光学显微镜、电视扫描头及激光扫描甲等。这样就造成了抵偿误差，产生误差的巨细与测球的半径及该工件被测面与笛卡尔坐标轴的夹角有关，夹角越大，误差越大。但被抵偿点实在不是真实的接触点，而是测头沿着测针接触工件标的方针的延迟线上的一个点。这类测头不单可用于瞄准（即过零发讯），还可用于测微（即测出给定坐标值的误差值）。可能的景象形象形象下，选择球头直径尽可能大、测杆尽可能短的测针，以保障的球头/测杆距，获得的有用工作长度和测针刚性。电气接触式测头是今朝独霸*多的测头。坐标测量机的成长增进了新型测头的研制，新型测头的斥地又进一步扩大了测量机的独霸规模。这类测头作为测量传感器，是与工件接触的部件，每测量一个点时，测头传感部分总有一个“接触—偏转—发讯—答复”的过程，测头的测端与被测件接触后可作偏移，传感器输出摹拟位移量的记号记号。（2）电气接触式测头
电气接触式测头又称为“软测头”，适于动态测量。由于人工直接独霸，故测头的测量力不轻易节制，只适于作个体精度的测量

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