LSX-213采用高能量DUV（深紫外）213nm固态Nd:YAG激光，精密的样品显微观察成像系统，高精度样品工作台以及功能强大的软件系统，为分析工作者和分析样品之间建立了直接的“互感”桥梁。LSX-213把固态激光的方便，坚固耐用和DUV激光的烧蚀性能结合，是半导体、地质、环境、生物、金属、刑侦等领域固体进样的选择。

创新点：

1.采用进的231nmUV“平顶flat-top”激光技术和能量均匀分布技术，*搞输出能量可达1.5mJ/脉冲，可满足*困难样品的灼烧，是以往LSX-200所不能及的。
2.独特的取样设计室，*小的空气残留和*快的冲洗时间，在节能减排方面有明显效果

技术参数：

1.213 nm固态Nd:YAG激光、激光能量：4.5mJ/脉冲
2.输出能量：0-100%
3.脉冲宽度：5ns
4.脉冲频率：1-20HZ，Q开关控制
5.烧蚀斑点：5μm-300μm ：10-200μm（软件光圈控制），所有光斑均具有相同的能量密度
6.密闭、充氮保护的激光器、机械和热隔离的激光光路。稳定、 
7.计算机控制的60-600倍显微成像，自动变焦的数码成像
8.＜5μm的光学分辨率
9.高亮度LED阵列照明，即使在放大倍数下也能获得的观察效果
10.不管是反射光还是透射光，亮度0-100%可调
11.配置偏振镜系统
12.密闭、机械和热隔离成像系统，成像的稳定，清晰和长寿命
13.高精度X-Y-Z三维移动样品台，0.25μmμ步进分辨率
14.配置高精度质子流量计，可选氮气作为载气，以提高分析灵敏度
15.标配样品室：52mm（φ）×50mm（H）,另外多种规格可选
16.独立的取样室设计，*小的空气残留和*快的冲洗时间
17.可拆式石英样品室窗，清洗和样品维护方便、简单
18.配置微小薄片样品架
19.可伸出的样品室，样品更换方便、安全、样品室复位后可自动吹扫

主要特点：

采用的“平顶”激光能量技术
配置60－－600倍、计算机连续调整的显微成像系统
光学变焦的数码成像，计算机自动聚焦
不管是反射光还是透射光，亮度0-100%连续可调
配置偏振镜系统
配置氦质子流量计
Windows 2000、XP、NT操作系统, 同一屏幕显示激光所有状态和工作参数
7种烧蚀模式：包括单点、多点、直线、分段直线、光栅式扫描和深度扫描等
样品“Map”功能可观察整个样品区域，并快速导视